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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:FMA-A2000氣體質(zhì)量流量計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):FMA-A2304,FMA-A2305,FMA-A2306,FMA-A2307,FMA-A2308
  • 產(chǎn)品廠商:美國(guó)Omega
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
FMA-A2000氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器,可選配一體式顯示屏,用于測(cè)量潔凈氣體,精度為±1%,線性模擬輸出,成本低,采用熱感技術(shù),可測(cè)量高達(dá)100 SLM的流量。
詳情介紹:

FMA-A2000氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器

可選配一體式顯示屏,用于測(cè)量潔凈氣體,精度為±1%

線性模擬輸出,成本低,采用熱感技術(shù),可測(cè)量高達(dá)100 SLM的流量

內(nèi)含電源

FMA-A2000系列電子質(zhì)量流量計(jì)/控制器性能出眾、 功能多樣、設(shè)計(jì)先進(jìn)、外形緊湊。
FMA-A2000利用毛細(xì)管式熱感技術(shù)直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。無(wú)需進(jìn)行溫度、壓力或平方根校正。
FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號(hào)都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。

FMA-A2000測(cè)量0 ~ 100 SLM之間24個(gè)量程的氣體質(zhì) 量流量。要查看完整列表,請(qǐng)參閱下一頁(yè)的量程表。
FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對(duì)照氣體相容性檢查接液材料。

OMEGA的質(zhì)量流量控制器利用內(nèi)部電磁比例閥控制質(zhì)量流量。
可以通過內(nèi)部電位器設(shè)定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號(hào)。


規(guī)格:
精度: 滿量程的±1%(包括線性度)
重復(fù)性: 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
響應(yīng)時(shí)間: 5秒
氣體環(huán)境溫度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數(shù): 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數(shù): 每psi為滿量程的0.01%或更佳
*低壓力要求:
    流量計(jì):
1英寸水柱
*大流速為1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
質(zhì)量流量控制器的壓差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(標(biāo)準(zhǔn))
>5 LPM,20 ~ 40 psi(標(biāo)準(zhǔn))
氣體*大壓力:
    聚甲醛:
250 psig
316不銹鋼: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件:
    標(biāo)配:
聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配: 316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口: ¼ FNPT(標(biāo)配);
¼"壓合接頭(適用于所有不銹鋼型號(hào)流量計(jì))
輸入/輸出連接口: 9針sub-D連接器
控制信號(hào): 0 ~ 5 Vdc
控制閥: 常閉電磁閥
輸出信號(hào): 線性0 ~ 5 Vdc(*小負(fù)載1000 ?),4 ~ 20 mA(環(huán)路電阻500 ?)
安裝螺紋:
    316不銹鋼殼體:
6⁄32"螺紋
聚甲醛材料: #4/6自攻螺絲
輸入電源:
    流量計(jì):
24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
外形尺寸: 參見圖紙
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含電源)
 

聚甲醛質(zhì)量流量計(jì),不帶顯示屏
 FMA-A2100 0到10 SCCM
 
 FMA-A2101 0到20SCCM
 
 FMA-A2102 0到50SCCM
 
 FMA-A2103 0到100SCCM
 
 FMA-A2104 0到200SCCM
 
 FMA-A2105 0到500SCCM
 
 FMA-A2107 0到2SLM
 
 FMA-A2108 0到5SLM
 
 FMA-A2109 0到10SLM
 
 FMA-A2117 0到50SLM
 
 FMA-A2118 0到55的SLM
 
 FMA-A2119 0到60SLM
 
 FMA-A2120 0到65SLM
 
 FMA-A2121 0到70SLM
 
 FMA-A2122 0到75SLM
 
 FMA-A2123 0到100SLM
 
 聚甲醛質(zhì)量流量控制器,不帶顯示屏
 FMA-A2200-(**) 0到10 SCCM
 
 FMA-A2201-(**) 0到20SCCM
 
 FMA-A2202-(**) 0到50SCCM
 
 FMA-A2203-(**) 0到100SCCM
 
 FMA-A2204-(**) 0到200SCCM
 
 FMA-A2205-(**) 0到500的SCCM
 
 FMA-A2206-(**) 0到1SLM
 
 FMA-A2207-(**) 0到2SLM
 
 FMA-A2208-(**) 0到5SLM
 
 FMA-A2209-(**) 0到10SLM
 
 FMA-A2210-(**) 0到15SLM
 
 FMA-A2211-(**) 0到20SLM
 
 FMA-A2212-(**) 0到25SLM
 
 FMA-A2213-(**) 0到30SLM
 
 FMA-A2214-(**) 0到35SLM
 
 FMA-A2215-(**) 0到40SLM
 
 FMA-A2216-(**) 0到45SLM
 
 FMA-A2217-(**) 0到50SLM
 
 不銹鋼質(zhì)量流量控制器,不帶顯示器
 FMA-A2200-SS-(**) 0到10SCCM
 
 FMA-A2201-SS-(**) 0到20SCCM
 
 FMA-A2202-SS-(**) 0到50SCCM
 
 FMA-A2203-SS-(**) 0到100SCCM
 
 FMA-A2204-SS-(**) 0到200SCCM
 
 FMA-A2205-SS-(**) 0到500SCCM
 
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 聚甲醛質(zhì)量流量計(jì),帶顯示屏
 FMA-A2300 0到10SCCM
 
 FMA-A2301 0到20SCCM
 
 FMA-A2302 0到50SCCM
 
 FMA-A2303 0到100SCCM
 
 FMA-A2304 0到200SCCM
 
 FMA-A2305 0到500SCCM
 
 FMA-A2306 0到1SLM
 
 FMA-A2307 0到2的SLM
 
 FMA-A2308 0到5的SLM
 
 FMA-A2309 0到10SLM
 
 FMA-A2317 0到50SLM
 
 FMA-A2318 0到55SLM
 
 FMA-A2319 0到60SLM
 
 FMA-A2320 0到65SLM
 
 FMA-A2321 0到70SLM
 
 FMA-A2322 0到75SLM
 
 FMA-A2323 0到100SLM
 
 聚甲醛的質(zhì)量流量控制器,帶顯示屏
 FMA-A2400-(**) 0到10SCCM
 
 FMA-A2401-(**) 0到20SCCM
 
 FMA-A2402-(**) 0到50SCCM
 
 FMA-A2403-(**) 0到100SCCM
 
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 FMA-A2405-(**) 0到500SCCM
 
 FMA-A2406-(**) 0到1SLM
 
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 FMA-A2415-(**) 0到40SLM
 
 FMA-A2416-(**) 0到45SLM
 
 FMA-A2417-(**) 0到50SLM
 
 不銹鋼質(zhì)量流量控制器,帶顯示屏
 FMA-A2400-SS-(**) 0到10SCCM
 
 FMA-A2401-SS-(**) 0到20SCCM
 
 FMA-A2402-SS-(**) 0到50SCCM
 
 FMA-A2403-SS-(**) 0到100SCCM
 
 FMA-A2404-SS-(**) 0到200SCCM
 
 FMA-A2405-SS-(**) 0到500SCCM
 
 FMA-A2406-SS-(**) 0到1SLM
 
 FMA-A2407-SS-(**) 0到2SLM
 
 FMA-A2408-SS-(**) 0到5SLM
 
 FMA-A2409-SS-(**) 0到10SLM
 
 FMA-A2410-SS-(**) 0到15SLM
 
 FMA-A2411-SS-(**) 0到20SLM
 
 FMA-A2412-SS-(**) 0到25SLM
 
 FMA-A2413-SS-(**) 0到30SLM
 
 FMA-A2414-SS-(**) 0到35SLM
 
 FMA-A2415-SS(**) 0到40SLM
 
 FMA-A2416-SS-(**) 0到45SLM
 
 FMA-A2417-SS-(**) 0到50SLM
 
 配件
 FMA-200PWA 備用插座式插接電源(90 ~ 260 Vac)

注釋: 配備操作手冊(cè)、9針sub-D連接器、電源及NIST校準(zhǔn)(無(wú)數(shù)據(jù)點(diǎn))。

欲購(gòu)可選316不銹鋼殼體儀表,請(qǐng)將后綴"-SS"添加到型號(hào)中(需付額外費(fèi)用)(¼"壓合接頭為標(biāo)配)。對(duì)于FMA-A22與FMA-A24控制器,不銹鋼殼體是標(biāo)配。
注:所有指定的控制器流量范圍均針對(duì)20 psig時(shí)的氮?dú)饣蚩諝猓辉谟糜谄渌鼩怏w時(shí),需要使用相關(guān)系數(shù)確定流量。
** 指定氣體、入口/出口壓力和溫度。
要獲得5測(cè)量點(diǎn)NIST校準(zhǔn)證書,請(qǐng)將后綴"-NIST5"添加到型號(hào)中(無(wú)額外費(fèi)用)。
要獲得10測(cè)量點(diǎn)NIST校準(zhǔn)證書,請(qǐng)將后綴"-NIST10"添加到型號(hào)(需付額外費(fèi)用)。
 

 

(1)

(2)

(3)

(4)

FMA-

    

選項(xiàng)描述

(1)

型號(hào)代碼

 

選擇
A21 代表 不帶顯示器的質(zhì)量流量計(jì)
A22 代表 有控制閥的質(zhì)量流量控制器
A23 代表 帶顯示屏的質(zhì)量流量計(jì)
A24 代表 有顯示和控制閥的質(zhì)量流量控制器

(2)

量程代碼

 

選擇
00 代表 0-10 SCCM
01 代表 0-20 SCCM
02 代表 0-50 SCCM
03 代表 0-100 SCCM
04 代表 0-200 SCCM
05 代表 0-500 SCCM
06 代表 0-1 SLM
07 代表 0-2 SLM
08 代表 0-5 SLM
09 代表 0-10 SLM
10 代表 0-15 SLM
11 代表 0-20 SLM
12 代表 0-25 SLM
13 代表 0-30 SLM
14 代表 0-35 SLM
15 代表 0-40 SLM
16 代表 0-45 SLM
17 代表 0-50 SLM
18 代表 0-55 SLM
19 代表 0-60 SLM
20 代表 0-65 SLM
21 代表 0-70 SLM
22 代表 0-75 SLM
23 代表 0-100 SLM

(3)

可選316不銹鋼閥體

 

選擇
Nothing(leave field blank) 代表 標(biāo)準(zhǔn)體材料
-SS 代表 可選316不銹鋼閥體

(4)

型號(hào)代碼

 

選擇
Nothing(leave field blank) 代表 在20 psig的標(biāo)準(zhǔn)模型的氮?dú)饣蚩諝?br> (**) 代表 指定進(jìn)氣口/出口壓力溫度

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